제목2
PCEM 은 고객이 요구 하는 반도체 설비의 주요 부품의 성능 저하 시 신속하게 수리하고,
전면적인 점검 및 재생산을 통해 장비의 수명을 연장시키는 서비스를 제공합니다.
이를 통해 생산 효율성과 가동률을 높이고 비용 절감을 실현할 수 있습니다.
PCEM provides services that promptly repair key components of semiconductor equipment when performance declines,
and extends tool lifespan through comprehensive inspection and reproduction. This helps improve production efficiency,
increase operational uptime, and reduce costs.
Business scope : Transfer & Power components Over-haul & Repair
Over-haul
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Harmonic Arm Drive Assembly
* P/N : 853-012123-001 -
ASSY, RF, MATCH, ESC, PK DET
* P/N : 853-250001-024 -
Outer Gate Assembly
* P/N : 853-140013-001 -
Inner Gate Drive Assembly
* P/N : 853-012230-002
Repair
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Power Head
* P/N : FI20162-1 -
Applicator
* P/N : AX7610-QTZ
The following components are also available for service : Transfer Robot, Pre aligner, Gap Assy, Gate & APC Valves